时间分辨的带电粒子显微术
授权
摘要

一种使用带电粒子显微术来研究样本的方法,该方法包括以下步骤:‑使用主源来产生沿着射束路径传播的带电粒子脉冲射束;‑在所述射束路径中的照射位置处提供样本;‑使用次源来产生样本的重复激励;‑使用检测器来登记在每次所述激励之后穿过样本的所述射束中的带电粒子,其中:‑所述主源被配置成由所述次源的每个激励产生一串多个脉冲;‑所述检测器被配置成包括像素的集成阵列,所述像素每一个都具有单独的读出电路,以登记所述串中的单独粒子的到达时间。

基本信息
专利标题 :
时间分辨的带电粒子显微术
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN108122725A
申请号 :
CN201711144530.3
公开(公告)日 :
2018-06-05
申请日 :
2017-11-17
授权号 :
CN108122725B
授权日 :
2022-05-10
发明人 :
E.R.基伊夫特
申请人 :
FEI公司
申请人地址 :
美国俄勒冈州
代理机构 :
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 :
周学斌
优先权 :
CN201711144530.3
主分类号 :
H01J37/26
IPC分类号 :
H01J37/26  G01N23/2202  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管,例如为了对其检验或加工的
H01J37/26
电子或离子显微镜;电子或离子衍射管
法律状态
2022-05-10 :
授权
2019-09-27 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 37/26
申请日 : 20171117
2018-06-05 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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