彩色滤光层的制作方法

授权

摘要

一种彩色滤光层的制作方法，包括：在透明基板上形成黑矩阵层，黑矩阵层具有多个开口；在第一数量的开口中形成第一彩色光阻材料层，第一彩色光阻材料层填充开口，且第一彩色光阻材料层具有覆盖黑矩阵层的交叠部分；采用第一光罩作为掩模，对第一彩色光阻材料层进行曝光；第一光罩具有多边形开孔和位于开孔至少一边边缘的透过率渐变区；开孔位于开口正上方；对进行曝光后的第一彩色光阻材料层进行显影，使得显影之后，交叠部分成为具有底切结构的形态；对进行显影后的第一彩色光阻材料层进行烘烤，使得底切结构的交叠部分发生塌陷，从而减小交叠部分的最终厚度，形成第一彩色滤光层。所述制作方法提高所形成的彩色滤光层质量。

基本信息

专利标题：

彩色滤光层的制作方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN109960073A

申请号：

CN201711435025.4

公开（公告）日：

2019-07-02

申请日：

2017-12-26

授权号：

CN109960073B

授权日：

2022-04-29

发明人：

纪荣昌许雅菁于海涛张莉王红光

申请人：

上海仪电显示材料有限公司

申请人地址：

上海市闵行区华宁路3306弄160号

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司

代理人：

吴圳添

优先权：

CN201711435025.4

主分类号：

G02F1/1335

IPC分类号：

G02F1/1335