束流强度转换膜以及束流强度转换膜的制造方法
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摘要
本发明实现一种具备充分的屏蔽性、耐久性、耐热性且放射性活化程度能降低的束流强度转换膜。衰减器(1)由石墨膜构成，该石墨膜以其膜面与荷电粒子束(X)的束轴相交的方式配置，石墨膜的厚度为1μm以上，石墨膜在其膜面方向上的热导率是在其膜厚方向上的热导率的20倍以上。
基本信息
专利标题 ：
束流强度转换膜以及束流强度转换膜的制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN108780670A
申请号 ：
CN201780014702.7
公开（公告）日 ：
2018-11-09
申请日 ：
2017-04-20
授权号 ：
CN108780670B
授权日 ：
2022-04-05
发明人 ：
村上睦明多多见笃立花正满
申请人 ：
株式会社钟化
申请人地址 ：
日本大阪府
代理机构 ：
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
刘新宇
优先权 ：
CN201780014702.7
主分类号 ：
G21K3/00
IPC分类号 ：
G21K3/00
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G21
核物理；核工程
G21K
未列入其他类目的粒子或电离辐射的处理技术；照射装置；γ射线或X射线显微镜
G21K3/00
电离辐射滤波器，如X射线滤波器
法律状态
2022-04-05 ：
授权
2018-12-04 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G21K 3/00
申请日 : 20170420
申请日 : 20170420
2018-11-09 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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