微波化学处理
授权
摘要
方法和系统包括通过波导供给脉冲微波辐射，其中所述微波辐射在沿着波导的方向上传播。波导内的压力为至少0.1个大气压。在沿着波导的长度的第一位置处提供供给气体，大部分供给气体在微波辐射传播的方向上流动。在供给气体中产生等离子体，并且在自第一位置下游的第二位置处将处理气体添加到波导当中。大部分处理气体以大于5slm的速率在微波传播的方向上流动。通过控制脉冲微波辐射的脉冲频率和脉冲微波辐射的占空比中的至少一者来控制等离子体的平均能量，以将处理气体转化成分离的组分。
基本信息
专利标题 ：
微波化学处理
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110036457A
申请号 ：
CN201780074839.1
公开（公告）日 ：
2019-07-19
申请日 ：
2017-10-23
授权号 ：
CN110036457B
授权日 ：
2022-04-08
发明人 ：
M.W.斯托韦尔
申请人 ：
利腾股份有限公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
北京市柳沈律师事务所
代理人 ：
贺紫秋
优先权 ：
CN201780074839.1
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2022-04-08 ：
授权
2019-12-10 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 37/32
申请日 : 20171023
申请日 : 20171023
2019-07-19 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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