控制机台操作的装置与方法
授权
摘要
一种控制机台操作的装置，包括光学识别系统、控制单元及遥控接口。光学识别系统用以随着操作时间监视与取得显示在工艺机台的面板的实际操作信息。控制单元是配置成接收所述实际操作信息以及与预计操作信息做检查，所述预计操作信息是根据对应当前制造工艺已经建立好的操作模型所取得，其中所述实际操作信息与所述预计操作信息的差异信息被判断以及转换成参数组。遥控接口用以接收所述参数组且转换成控制信号组，用以控制所述工艺机台的操作。
基本信息
专利标题 ：
控制机台操作的装置与方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110246775A
申请号 ：
CN201810193982.9
公开（公告）日 ：
2019-09-17
申请日 ：
2018-03-09
授权号 ：
CN110246775B
授权日 ：
2022-05-03
发明人 ：
沈能兴杨建文李春满龚吉富林京沛
申请人 ：
联华电子股份有限公司
申请人地址 ：
中国台湾新竹市
代理机构 ：
北京市柳沈律师事务所
代理人 ：
王珊珊
优先权 ：
CN201810193982.9
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2022-05-03 ：
授权
2019-10-15 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/67
申请日 : 20180309
申请日 : 20180309
2019-09-17 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
