一种TiO2纳米柱-Au纳米粒子复...
授权
摘要
本发明涉及一种TiO2纳米柱‑Au纳米粒子复合阵列、制备方法及其应用，它包括形成在基底表面的TiO2纳米柱以及形成在所述TiO2纳米柱自由端的Au纳米粒子；其制备方法，它包括以下步骤：(a)在基底表面形成TiO2纳米薄膜；(b)采用自组装法或蒸镀法在所述TiO2纳米薄膜表面负载Au纳米粒子阵列，随后以CHF3与氩气的混合气体为刻蚀气体进行刻蚀即可。可以获得在可见光区的表面等离子体共振性质，而且可通过二氧化钛纳米柱调控金纳米粒子的空间分布状态，更好的用于增强太阳能电池、光解水、光催化等光电器件的能量转换效率；而制备方法具有重复性好、可大面积制备等优点。
基本信息
专利标题 ：
一种TiO2纳米柱-Au纳米粒子复合阵列、制备方法及其应用
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN108767113A
申请号 ：
CN201810427291.0
公开（公告）日 ：
2018-11-06
申请日 ：
2018-05-07
授权号 ：
CN108767113B
授权日 ：
2022-04-12
发明人 ：
江林梁志强邵卫晶孙迎辉
申请人 ：
苏州大学
申请人地址 ：
江苏省苏州市吴中大道1188号
代理机构 ：
苏州创元专利商标事务所有限公司
代理人 ：
孙仿卫
优先权 ：
CN201810427291.0
主分类号 ：
H01L51/42
IPC分类号 ：
H01L51/42 H01L51/44 H01L51/48 B82Y40/00 B82Y30/00
法律状态
2022-04-12 ：
授权
2018-11-30 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 51/42
申请日 : 20180507
申请日 : 20180507
2018-11-06 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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