射频电源的脉冲调制系统及方法
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摘要
本发明涉及一种脉冲调制射频电源系统，包括：调制输出模块和频率调节模块；所述调制输出模块，用于输出脉冲调制射频信号，所述脉冲调制射频信号的每个脉冲周期包括脉冲开启阶段和脉冲关闭阶段，在所述脉冲开启阶段的初始时间段设置有过冲子阶段；所述频率调节模块，与所述调制输出模块相连，用于调节所述过冲子阶段的脉冲调制射频信号的射频频率，以使过冲子阶段的反射功率或反射系数满足要求。本发明还提供反应腔室。不仅容易实现点火成功，而且降低了射频系统的设计要求和降低了成本。
基本信息
专利标题 ：
射频电源的脉冲调制系统及方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110504149A
申请号 ：
CN201810474665.4
公开（公告）日 ：
2019-11-26
申请日 ：
2018-05-17
授权号 ：
CN110504149B
授权日 ：
2022-04-22
发明人 ：
韦刚卫晶杨京
申请人 ：
北京北方华创微电子装备有限公司
申请人地址 ：
北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
代理机构 ：
北京天昊联合知识产权代理有限公司
代理人 ：
彭瑞欣
优先权 ：
CN201810474665.4
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32 H01L21/3065
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2022-04-22 ：
授权
2019-12-20 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 37/32
申请日 : 20180517
申请日 : 20180517
2019-11-26 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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