本发明提供一种利用激光时脉调变分光切割加工方法及其模组，其加工方法包含发出激光步骤、时脉调变振荡步骤、聚光步骤、加工步骤；首先，将激光射入光电调变振荡装置，并折射出两道不同时脉、角度各异的光束，但其功率仍维持接近原激光，再利用激光控制装置移动光电调变振荡装置，以控制两光束分别射向聚光单元的间距，而聚光单元调整光束朝向晶圆射出，并配合移动平台的移动，使两光束在晶圆上以特定间距进行平行Z字形交错的加工，最后形成两条平行蚀刻后的完整沟槽，无需额外分割加工、或更换功率更高的激光源，大幅降低设备成本并提高加工效率。