一种钼银层状复合材料、其制备方法及应用
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摘要
本发明公开了一种钼银层状复合材料、其制备方法及应用。所述制备方法包括:至少将钼基材、与钼有良好固溶性的金属靶材置入真空环境,并通过直流磁控溅射方法,在所述钼基材表面沉积形成金属中间层;至少将表面形成有金属中间层的钼基材、金属银靶材置入真空环境,并通过直流磁控溅射方法,在所述金属中间层表面沉积形成银层;以及对所获的钼基材‑金属中间层‑银层复合结构进行退火处理,从而使组成金属中间层的金属元素连续地扩散入钼基材和银层中。本发明可成功制备出银/金属中间层/钼层状复合材料,环境友好、工艺稳定性高、可规模化生产;并且所获钼银层状复合材料致密度高,结合强度优异,具有优异的抗氧化腐蚀和抗热疲劳性能。
基本信息
专利标题 :
一种钼银层状复合材料、其制备方法及应用
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN110872692A
申请号 :
CN201810997083.4
公开(公告)日 :
2020-03-10
申请日 :
2018-08-29
授权号 :
CN110872692B
授权日 :
2022-05-31
发明人 :
姜欣赵大强张学东蒲吉斌王立平
申请人 :
中国科学院宁波材料技术与工程研究所
申请人地址 :
浙江省宁波市镇海区庄市大道519号
代理机构 :
南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
王茹
优先权 :
CN201810997083.4
主分类号 :
C23C14/35
IPC分类号 :
C23C14/35 C23C14/16 C23C14/58 H01L31/05
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的,例如磁控溅射
法律状态
2022-05-31 :
授权
2020-04-03 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/35
申请日 : 20180829
申请日 : 20180829
2020-03-10 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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