本发明涉及薄膜电容器，包括电介质薄膜和电极层，所述电介质薄膜包括金属衬底以及依次形成于所述金属衬底上的第一金属层、第二金属层、第二金属氧化物层和第二金属氧化物薄膜，所述电极层形成于所述第二金属氧化物薄膜上；其中，所述第一金属层的材料与所述金属衬底的材料相同；所述第一金属层的表面还设有所述第二金属层中的第二金属与第一金属层中的第一金属结合而形成的合金层。本发明的薄膜电容器中，电介质薄膜为储能陶瓷薄膜，介电常数高，储能性能好。而且，电介质薄膜中的各层之间结合牢固，电介质薄膜的可靠性强。使用该电介质薄膜代替高分子薄膜，可促进薄膜电容器面向小型化、轻薄化、高集成化和多功能化的趋势发展。