激光振荡器
授权
摘要
本发明的课题在于提供一种不易受腔室的热变形的影响的激光振荡器。激光介质气体容纳于腔室。一对放电电极在腔室内部的放电空间产生放电。配置于腔室的内部空间的一对谐振腔反射镜支承于腔室，并且构成具有通过放电空间的光轴的光学谐振腔。
基本信息
专利标题 ：
激光振荡器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110137787A
申请号 ：
CN201811580719.1
公开（公告）日 ：
2019-08-16
申请日 ：
2018-12-24
授权号 ：
CN110137787B
授权日 ：
2022-05-27
发明人 ：
田中研太河村让一万雅史冈田康弘
申请人 ：
住友重机械工业株式会社
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
广州三环专利商标代理有限公司
代理人 ：
郝传鑫
优先权 ：
CN201811580719.1
主分类号 ：
H01S3/034
IPC分类号 ：
H01S3/034
法律状态
2022-05-27 ：
授权
2019-09-10 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01S 3/034
申请日 : 20181224
申请日 : 20181224
2019-08-16 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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