用于对锚定件移动不敏感的传感器的锚定结构
授权
摘要
MEMS传感器包括基板和MEMS层。MEMS层内的多个锚定点悬挂着悬挂的弹簧‑质块系统，该弹簧‑质块系统包括响应于诸如线性加速度、角速度、压力或磁场之类的感兴趣的力的活动微机械部件。弹簧和刚性质块将活动部件耦合到锚定点，使得锚定点的位移基本上不会导致MEMS层内的活动部件移出平面外。
基本信息
专利标题 ：
用于对锚定件移动不敏感的传感器的锚定结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110637208A
申请号 ：
CN201880012425.0
公开（公告）日 ：
2019-12-31
申请日 ：
2018-02-20
授权号 ：
CN110637208B
授权日 ：
2022-04-05
发明人 ：
J·鲁欧西欧L·科罗纳托G·加弗埃力
申请人 ：
应美盛股份有限公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚
代理机构 ：
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人 ：
张丹
优先权 ：
CN201880012425.0
主分类号 ：
G01C19/574
IPC分类号 ：
G01C19/574
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01C
测量距离、水准或者方位；勘测；导航；陀螺仪；摄影测量学或视频测量学
G01C19/00
陀螺仪；使用振动部件的转动敏感装置；不带有运动部件的转动敏感装置；使用陀螺效应测量角速率
G01C19/56
使用振动部件的转动敏感装置，例如基于科里奥利力的振动角速度传感器
G01C19/5719
使用被驱动做沿轴平移振动的平面振动部件
G01C19/5733
结构细节或拓扑
G01C19/574
反相运动中具有两个传感部件的装置
法律状态
2022-04-05 ：
授权
2020-01-24 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01C 19/574
申请日 : 20180220
申请日 : 20180220
2019-12-31 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN110637208A.PDF
PDF下载
