晶圆加热装置
授权
摘要
陶瓷加热器(10)在单面为晶圆载置面的圆板状的陶瓷基体(12)埋设有中央熔区电阻发热体(20)及外周熔区电阻发热体(50)。中央熔区电阻发热体(20)从一对端子(21、22)的一方到另一方以一笔划线的要领配线，一对端子(21、22)形成为，在俯视时一对端子(21、22)的整体形状为圆形。
基本信息
专利标题 ：
晶圆加热装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110352626A
申请号 ：
CN201880014866.4
公开（公告）日 ：
2019-10-18
申请日 ：
2018-02-28
授权号 ：
CN110352626B
授权日 ：
2022-04-15
发明人 ：
竹林央史鸟居谦悟平田夏树
申请人 ：
日本碍子株式会社
申请人地址 ：
日本爱知县
代理机构 ：
北京银龙知识产权代理有限公司
代理人 ：
金成哲
优先权 ：
CN201880014866.4
主分类号 ：
H05B3/02
IPC分类号 ：
H05B3/02 H01L21/02 H05B3/74
法律状态
2022-04-15 ：
授权
2019-11-12 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H05B 3/02
申请日 : 20180228
申请日 : 20180228
2019-10-18 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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