加热装置
授权
摘要
本发明的目的在于提供一种加热装置，即使在窄小区域中产生成为失去温度分布的均匀性的主要原因的温度变化时，也可以均匀地加热被处理物，而且可以小型化。本发明的加热装置，在发光管的内部沿发光管的管轴延伸地按顺序并列配置有多根灯丝，且并列配置有多个独立地对各灯丝供电的加热器，其特征在于，使上述各加热器的各发光区域与各加热器正下方的被处理物的尺寸相适合。
基本信息
专利标题 ：
加热装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101295632A
申请号 ：
CN200810099642.6
公开（公告）日 ：
2008-10-29
申请日 ：
2006-03-02
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
水川洋一金津桂太吉冈正树铃木信二关匡平
申请人 ：
优志旺电机株式会社
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
永新专利商标代理有限公司
代理人 ：
徐殿军
优先权 ：
CN200810099642.6
主分类号 ：
H01L21/00
IPC分类号 ：
H01L21/00
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
法律状态
2010-12-08 ：
授权
2008-12-24 ：
实质审查的生效
2008-10-29 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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2、
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