加热器及具备加热器的加热装置
发明专利申请公布后的驳回
摘要

本发明的目的在于提供一种加热器,即使在窄小区域中产生成为失去温度分布的均匀性的主要原因的温度变化时,也可以均匀地加热被处理物,而且可以小型化。本发明的加热器,在由光透射性材料构成的一支发光管内部设置灯丝而构成,其特征在于,上述灯丝在轴方向上被分割为多个,被分割的各灯丝分别独立地被供电。

基本信息
专利标题 :
加热器及具备加热器的加热装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1828829A
申请号 :
CN200610059456.0
公开(公告)日 :
2006-09-06
申请日 :
2006-03-02
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
水川洋一金津桂太吉冈正树铃木信二关匡平
申请人 :
优志旺电机株式会社
申请人地址 :
日本东京都
代理机构 :
永新专利商标代理有限公司
代理人 :
胡建新
优先权 :
CN200610059456.0
主分类号 :
H01L21/00
IPC分类号 :
H01L21/00  H01K1/14  H01K9/00  
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
法律状态
2010-03-10 :
发明专利申请公布后的驳回
2007-07-25 :
实质审查的生效
2007-01-10 :
发明专利申请公布说明书更正
更正卷 : 22
号 : 36
页码 : 扉页
更正项目 : 优先权
误 : 缺少优先权第二条
正 : 2005.06.30 JP 191222/2005
2006-09-06 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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