加热器组装体以及具备其的接合头
公开
摘要
本发明提供一种加热器组装体以及具备其的接合头。加热器组装体可以包括：壳体，内部的容纳空间以及与其连通的冷却气体流入口；加热器，结合于壳体；以及多孔块，配置于容纳空间内。
基本信息
专利标题 ：
加热器组装体以及具备其的接合头
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114582750A
申请号 ：
CN202111359554.7
公开（公告）日 ：
2022-06-03
申请日 ：
2021-11-17
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
金顺铉金丙根李炳赞
申请人 ：
细美事有限公司
申请人地址 ：
韩国忠清南道
代理机构 ：
北京钲霖知识产权代理有限公司
代理人 ：
李英艳
优先权 ：
CN202111359554.7
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67 H05K7/20
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2022-06-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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