对象识别和比较
授权
摘要
一种方法，包括：从一组已成形特征中选择一个已成形特征，所述一组已成形特征中的每个已成形特征在该已成形特征的形状的周边上具有一组点；针对所选已成形特征创建多个形状情境描述符，其中每个形状情境描述符提供所述一组点的第一焦点相对于所述一组点的第二点在形状情境描述符框架中的位置的指示；和基于来自所述多个形状情境描述符的数据从所述一组已成形特征中识别具有与所选择的已成形特征相同或类似形状的已成形特征。
基本信息
专利标题 ：
对象识别和比较
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110446980A
申请号 ：
CN201880019984.4
公开（公告）日 ：
2019-11-12
申请日 ：
2018-03-02
授权号 ：
CN110446980B
授权日 ：
2022-05-27
发明人 ：
安卓尼斯·科内利斯·马修斯·科普曼S·A·米德莱布鲁克斯W·M·J·M·考恩
申请人 ：
ASML荷兰有限公司
申请人地址 ：
荷兰维德霍温
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
王静
优先权 ：
CN201880019984.4
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2022-05-27 ：
授权
2019-12-06 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G03F 7/20
申请日 : 20180302
申请日 : 20180302
2019-11-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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