吹扫气体馈送器件、减排系统和修改减排系统的方法
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摘要
公开了吹扫气体馈送器件、包括此类器件的减排系统和修改减排系统以包括此类吹扫气体馈送器件的方法。所述吹扫气体馈送器件包括从吹扫气体馈送器件的外周边延伸到内表面的多个路径，该内表面包括用于将吹扫气体输出到减排系统中的吹扫气体出口；其中，所述多个路径的截面面积从外周边向内表面增加，使得吹扫气体的压力在沿着路径流动时下降降低。
基本信息
专利标题 ：
吹扫气体馈送器件、减排系统和修改减排系统的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110678249A
申请号 ：
CN201880037189.8
公开（公告）日 ：
2020-01-10
申请日 ：
2018-03-28
授权号 ：
CN110678249B
授权日 ：
2022-06-03
发明人 ：
A.西利D.M.普赖斯
申请人 ：
爱德华兹有限公司
申请人地址 ：
英国西萨塞克斯郡
代理机构 ：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 ：
邹松青
优先权 ：
CN201880037189.8
主分类号 ：
B01D53/75
IPC分类号 ：
B01D53/75 C23C16/44 F23G7/06
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IPC结构图谱
B
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法律状态
2022-06-03 ：
授权
2020-02-11 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B01D 53/75
申请日 : 20180328
申请日 : 20180328
2020-01-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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