用于高传导性阀的控制板
授权
摘要
高纯度流体控制阀，包括可移动控制板，具有流通通道以增强内部阀容积的流体冲扫。该阀为喷射式和阀座式，使用嵌套的孔脊，可在较小的致动器运动的情况下实现高传导性。流通控制板特别适用于快速动作的比例控制应用，例如半导体制造中的气体输送。
基本信息
专利标题 ：
用于高传导性阀的控制板
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110709633A
申请号 ：
CN201880037239.2
公开（公告）日 ：
2020-01-17
申请日 ：
2018-06-04
授权号 ：
CN110709633B
授权日 ：
2022-04-22
发明人 ：
K·N·乌
申请人 ：
威斯塔德尔特有限责任公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
北京市正见永申律师事务所
代理人 ：
黄小临
优先权 ：
CN201880037239.2
主分类号 ：
F16K1/36
IPC分类号 ：
F16K1/36 F16K1/42 F16K27/02
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F16
工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热
F16K
阀；龙头；旋塞；致动浮子；通风或充气装置
F16K
阀；龙头；旋塞；致动浮子；通风或充气装置
F16K1/00
提升阀，即带有闭合元件的切断装置，闭合元件至少有打开和闭合运动的分力垂直于闭合面
F16K1/32
零件
F16K1/34
切断零件
F16K1/36
阀元件
法律状态
2022-04-22 ：
授权
2020-02-18 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : F16K 1/36
申请日 : 20180604
申请日 : 20180604
2020-01-17 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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