药液收容体
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摘要
本发明的课题为提供一种药液收容体。该药液收容体在保管一定期间之后，将所收纳的药液应用于包含光刻的布线形成工序中时，在所形成的布线基板中不易发生短路，且不易产生缺陷。本发明的药液收容体具有容器及收容于容器中的药液，该药液收容体中，药液含有选自包含Fe、Al、Cr及Ni的组中的至少1种特定金属成分，相对于药液的总质量，药液中的特定金属成分的含量为100质量ppt以下，容器的接液部的至少一部分由含有钠原子的玻璃制成，在接液部的至少一部分中，表面区域中的钠原子相对于表面区域的总质量的含量A与主体区域中的钠原子相对于主体区域的总质量的含量B之含有质量比A/B超过0.10且小于1.0。
基本信息
专利标题 ：
药液收容体
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111051263A
申请号 ：
CN201880056623.7
公开（公告）日 ：
2020-04-21
申请日 ：
2018-08-30
授权号 ：
CN111051263B
授权日 ：
2022-06-07
发明人 ：
上村哲也吉留正洋河田幸寿
申请人 ：
富士胶片株式会社
申请人地址 ：
日本国东京都
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
曹阳
优先权 ：
CN201880056623.7
主分类号 ：
C03C23/00
IPC分类号 ：
C03C23/00 B65D23/02 C03C17/245
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C03
玻璃；矿棉或渣棉
C03C
玻璃、釉或搪瓷釉的化学成分；玻璃的表面处理；由玻璃、矿物或矿渣制成的纤维或细丝的表面处理；玻璃与玻璃或与其他材料的接合
C03C23/00
纤维或丝之外玻璃的其他表面处理
法律状态
2022-06-07 ：
授权
2020-05-15 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C03C 23/00
申请日 : 20180830
申请日 : 20180830
2020-04-21 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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