具有收容环境检测的基板收容装置
实质审查的生效
摘要
本发明揭露一种具有收容环境检测的基板收容装置，具有可拆卸地连接于一外盒的一检测装置，所述检测装置包含一感测部，其具有一感测端、一腔体及一感测器，所述感测部可拆卸地连接于所述外盒，使所述感测端暴露于所述外盒内侧的一容置空间，所述腔体延伸于所述外盒的一外侧和所述容置空间之间并容置所述感测器，所述腔体经由所述感测端通信连接所述外盒的容置空间，藉此让所述感测器读取关于所述容置空间的信息。
基本信息
专利标题 ：
具有收容环境检测的基板收容装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114326294A
申请号 ：
CN202111073036.9
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2021-09-14
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
邱铭乾庄家和薛新民林韵孜
申请人 ：
家登精密工业股份有限公司
申请人地址 ：
中国台湾新北市
代理机构 ：
北京三友知识产权代理有限公司
代理人 ：
周永君
优先权 ：
CN202111073036.9
主分类号 ：
G03F1/66
IPC分类号 ：
G03F1/66 G01D21/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F1/00
用于图纹面的照相制版的原版，例如掩膜，光掩膜；其所用空白掩膜或其所用薄膜；其专门适用于此的容器；其制备
G03F1/66
专门适用于掩膜，空白掩膜或薄膜的容器；其制备
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G03F 1/66
申请日 : 20210914
申请日 : 20210914
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
