具有偏移锚负载抑制的MEMS传感器

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摘要

一种MEMS传感器包括MEMS层、盖层和基板层。MEMS层包括悬置的弹簧‑质块系统，该悬置的弹簧‑质块系统响应于感测到的惯性力而移动。悬置的弹簧‑质块系统从一个或多个锚悬置。锚通过锚定部件耦合到盖层和基板层中的每一个。锚定部件被偏移，使得施加到盖层或基板层的力引起锚的旋转，并且使得悬置的弹簧‑质块系统基本上保持在原始MEMS层内。

基本信息

专利标题：

具有偏移锚负载抑制的MEMS传感器

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN111417837A

申请号：

CN201880077618.4

公开（公告）日：

2020-07-14

申请日：

2018-08-27

授权号：

CN111417837B

授权日：

2022-05-06

发明人：

M·汤普森H·乔哈里-加勒L·巴尔达萨雷S·尼灿K·威廉姆斯

申请人：

应美盛股份有限公司

申请人地址：

美国加利福尼亚

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所

代理人：

张丹

优先权：

CN201880077618.4

主分类号：

G01C19/5783

IPC分类号：

G01C19/5783 G01P15/125