脱模膜
授权
摘要
本发明的课题是提供，通过具有模具追随性、耐热性优异，并且抑制加热时产生的褶皱，在大变形后脱模性也不易变化的特性，从而可以适合用于工序用途、特别是半导体密封工序用途的脱模膜。解决手段是一种工序用脱模膜，在将利用TMA测得的、以10℃/分钟从30℃升温到200℃时的30℃～150℃中的最大尺寸变化率设为S1(％)，将提供S1的温度设为T1(℃)，且将40℃下的尺寸变化率设为S0(％)时，满足下述(I)和(II)式，25℃下的表面自由能Sa(mN/mm)、在180℃下进行了3分钟热处理后的表面自由能Sb(mN/mm)和在180℃下伸长50％后的表面自由能Sc(mN/mm)在膜的至少一面满足下述(III)和(IV)式。0≤S1≤1.5 (I);0≤|S1‑S0|/(T1‑40)≤0.050 (II);0≤|Sa‑Sb|≤15 (III);0≤|Sa‑Sc|≤15 (IV)。
基本信息
专利标题 ：
脱模膜
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111491771A
申请号 ：
CN201880081983.2
公开（公告）日 ：
2020-08-04
申请日 ：
2018-12-13
授权号 ：
CN111491771B
授权日 ：
2022-04-01
发明人 ：
荘司秀夫田中照也真锅功
申请人 ：
东丽株式会社
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京市中咨律师事务所
代理人 ：
李渊茹
优先权 ：
CN201880081983.2
主分类号 ：
B29C33/68
IPC分类号 ：
B29C33/68 B29C43/32 B32B27/00 H01L21/56 C08J5/18 C08J7/04
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B29
塑料的加工；一般处于塑性状态物质的加工
B29C
塑料的成型连接；塑性状态材或料的成型，不包含在其他类目中的；已成型产品的后处理，例如修整
B29C33/00
模型或型芯；其零件或所用的附件
B29C33/56
涂料；脱模剂、润滑剂或分离剂
B29C33/68
脱模片
法律状态
2022-04-01 ：
授权
2020-08-28 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B29C 33/68
申请日 : 20181213
申请日 : 20181213
2020-08-04 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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