宽范围微压力传感器
授权
摘要
公开了一种微压力传感器，其包括在不同压力范围内操作的多个模块。模块包括至少两个模块层堆叠，每个模块层包括：模块主体，其具有限定隔室的壁，并且所限定的隔室划分为至少两个子隔室；用于流体进入或流出的端口，其设置在主体的第一壁中，其中主体的其余壁是实心的；膜，其固定至模块主体的覆盖隔室的第一表面；以及电极，其固定在膜的表面上。
基本信息
专利标题 ：
宽范围微压力传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111656150A
申请号 ：
CN201880084772.4
公开（公告）日 ：
2020-09-11
申请日 ：
2018-10-22
授权号 ：
CN111656150B
授权日 ：
2022-05-03
发明人 ：
S.A.马什
申请人 ：
恩赛特有限责任公司
申请人地址 ：
美国马萨诸塞州
代理机构 ：
北京市柳沈律师事务所
代理人 ：
张邦帅
优先权 ：
CN201880084772.4
主分类号 ：
G01L7/00
IPC分类号 ：
G01L7/00 G01L9/12 G01L19/06 G01L19/14
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L7/00
用机械的或流体的压敏元件测量流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力
法律状态
2022-05-03 ：
授权
2020-11-03 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01L 7/00
申请日 : 20181022
申请日 : 20181022
2020-09-11 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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