激光光源装置和检查装置
授权
摘要
本发明的目的在于提供激光光源装置，其使用高输出激光并且寿命长且使散斑噪声降低。本发明是射出激光的激光光源装置(1)，其中，该激光光源装置(1)具有：光束分支部(3)，其将从激光光源部(2)射出的光束(L0)分支成第1分支光束(L1)和第2分支光束(L2)；以及光束合成部(5)，其对第1分支光束(L1)和第2分支光束(L2)进行合成，与第1分支光束(L1)的光路长度相比，第2分支光束(L2)的光路长度设定得较长，在第1分支光束(L1)和第2分支光束(L2)的光路中具有扩散板(41、42、43)。
基本信息
专利标题 ：
激光光源装置和检查装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111587395A
申请号 ：
CN201880085224.3
公开（公告）日 ：
2020-08-25
申请日 ：
2018-12-26
授权号 ：
CN111587395B
授权日 ：
2022-05-17
发明人 ：
村田浩之大久保宪治石川直道
申请人 ：
东丽工程株式会社
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京三友知识产权代理有限公司
代理人 ：
乔婉
优先权 ：
CN201880085224.3
主分类号 ：
G02B27/48
IPC分类号 ：
G02B27/48 G01N21/956 H01L21/66 H01S3/10 G03B21/14
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B27/00
不能分入G02B 1/00-G02B 26/00,G02B 30/00的其它光学系统或其它光学仪器
G02B27/48
激光斑纹光学
法律状态
2022-05-17 ：
授权
2020-11-20 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G02B 27/48
申请日 : 20181226
申请日 : 20181226
2020-08-25 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
