激光装置和激光装置的泄漏检查方法
公开
摘要
激光装置的泄漏检查方法包含以下步骤：使收纳激光介质气体的封闭空间暴露于大气；在使封闭空间暴露于大气后，使封闭空间与大气隔绝；向封闭空间导入包含氖气的含氖气体；以及判定氖气是否泄漏到封闭空间的外部。
基本信息
专利标题 ：
激光装置和激光装置的泄漏检查方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114287088A
申请号 ：
CN201980099848.5
公开（公告）日 ：
2022-04-05
申请日 ：
2019-10-04
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
对马弘朗川越阳介田中诚
申请人 ：
极光先进雷射株式会社
申请人地址 ：
日本栃木县
代理机构 ：
北京三友知识产权代理有限公司
代理人 ：
蔡丽娜
优先权 ：
CN201980099848.5
主分类号 ：
H01S3/036
IPC分类号 ：
H01S3/036
法律状态
2022-04-05 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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