旋转电机的控制方法
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摘要
本发明公开了一种旋转电机的控制方法，其用于控制半导体设备的机台旋转装置中的旋转电机，包括：速度设定步骤，用于在执行工艺菜单之前设定目标转速，通过实时获取旋转电机反馈的转速判断速度设定是否成功；维持转速步骤，用于在执行工艺菜单的过程中维持所述旋转电机的转速；降速返回原点步骤，用于在工艺菜单执行结束后使所述旋转电机降速并返回原点，通过实时获取所述旋转电机反馈的状态以及检测所述旋转电机是否处于原点位置判断所述旋转电机返回原点是否成功。本发明通过在工艺菜单开始前的速度设定步骤以及结束后的降速返回原点步骤中，对旋转电机采取闭环控制，确保对旋转电机的控制命令执行成功，使旋转电机的控制更加安全、可靠及稳定。
基本信息
专利标题 ：
旋转电机的控制方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110535402A
申请号 ：
CN201910120302.5
公开（公告）日 ：
2019-12-03
申请日 ：
2019-02-18
授权号 ：
CN110535402B
授权日 ：
2022-06-14
发明人 ：
杜青
申请人 ：
北京北方华创微电子装备有限公司
申请人地址 ：
北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号
代理机构 ：
北京思创毕升专利事务所
代理人 ：
孙向民
优先权 ：
CN201910120302.5
主分类号 ：
H02P29/10
IPC分类号 ：
H02P29/10
法律状态
2022-06-14 ：
授权
2019-12-27 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H02P 29/10
申请日 : 20190218
申请日 : 20190218
2019-12-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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