一种多层纳米复合刀具涂层及其制作方法
授权
摘要
本发明公开一种多层纳米复合刀具涂层的制作方法，包括以下步骤：1）刀具清洗：保证刀具基体表面干燥、清洁；2）抽真空处理：将刀具基体装夹在镀膜设备的转架上，然后将转架放置在由Cr靶材、AlTi靶材和AlCrSiW靶材组成的闭合镀膜设备中，并将真空室抽真空处理，最后打开加热器升温；3）离子清洗和离子轰击：通入氩气，对刀具基体的表面进行辉光清洗，关闭氩气，开启Cr靶材；4）制作底部粘接层：通入氮气，沉积CrN结合层；5）制作中间耐磨层：关闭Cr靶材，开启AlTi靶材，表面沉积AlTiN中间层；6）制作混合过渡层：开启AlCrSiW靶材和AlTi靶材，表面沉积AlCrSiWN及AlTiN混合层；7）制作表面功能层：关闭AlTi靶材，开启AlCrSiW靶材，表面沉积AlCrSiWN表面层，得到多层纳米复合刀具。
基本信息
专利标题 ：
一种多层纳米复合刀具涂层及其制作方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110042350A
申请号 ：
CN201910162657.0
公开（公告）日 ：
2019-07-23
申请日 ：
2019-03-05
授权号 ：
CN110042350B
授权日 ：
2022-05-31
发明人 ：
郭光宇陈金海钟伟强
申请人 ：
科汇纳米技术(深圳)有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市宝安区福永街道桥头社区重庆路2号第2栋第二层厂房
代理机构 ：
广州市时代知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
杨树民
优先权 ：
CN201910162657.0
主分类号 ：
C23C14/34
IPC分类号 ：
C23C14/34 C23C14/06 C23C14/02
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
法律状态
2022-05-31 ：
授权
2020-06-09 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/34
申请日 : 20190305
申请日 : 20190305
2019-07-23 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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