激光式气体分析仪
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摘要

本发明提供一种提高了成分浓度的测定精度的激光式气体分析仪。激光式气体分析仪(100)具备:向测定对象气体照射激光(11a)的发光部(11);对通过测定对象气体后的激光进行反射的反射部(28);接收由反射部(28)反射的激光的光接收部(13);控制发光部(11)并对来自光接收部(13)的输出信号进行处理的控制部(15);具有供测定对象气体流入和流出的开口(22a、22b)的测定对象气体通过部(22);填充有不含测定对象气体的吹扫气体的吹扫区域部(24);以及具有能够让激光(11a)通过的开孔(26a)的隔壁部(26),在隔壁部(26)的与发光部(11)相对的面形成有促进激光(11a)的散射的微小凹凸或实施了促进激光(11a)的散射或吸收的表面处理。

基本信息
专利标题 :
激光式气体分析仪
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN110470631A
申请号 :
CN201910381958.2
公开(公告)日 :
2019-11-19
申请日 :
2019-05-08
授权号 :
CN110470631B
授权日 :
2022-06-03
发明人 :
海野裕作松尾纯一
申请人 :
横河电机株式会社
申请人地址 :
日本东京
代理机构 :
上海专利商标事务所有限公司
代理人 :
宋俊寅
优先权 :
CN201910381958.2
主分类号 :
G01N21/39
IPC分类号 :
G01N21/39  G01N21/01  G01N21/15  
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段,即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/17
入射光根据所测试的材料性质而改变的系统
G01N21/25
颜色;光谱性质,即比较材料对两个或多个不同波长或波段的光的影响
G01N21/31
测试材料在特定元素或分子的特征波长下的相对效应,例如原子吸收光谱术
G01N21/39
利用可调谐的激光器
法律状态
2022-06-03 :
授权
2019-12-13 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 21/39
申请日 : 20190508
2019-11-19 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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