一种电容式柔性传感器的制备方法
授权
摘要
本发明公开了一种电容式柔性传感器的制备方法，包括：将两个复合片粘合在一起得到电容式柔性传感器，复合片的制备过程包括：将用于制备石墨烯的薄膜粘结在基底表面，利用激光直写工艺在薄膜上打印出石墨烯电极图案；在石墨烯电极图案的表面设置封装层，将带有封装层的石墨烯电极图案从基底上剥离下来；在石墨烯电极图案上设置隔离层，将石墨烯电极图案的端部与导线相连，以得到复合片。本申请公开的上述技术方案，利用激光直写工艺在薄膜上打印出石墨烯电极图案，以降低石墨烯电极图案制备的繁琐程度，提高制备效率，降低制备成本，从而缩短电容式柔性传感器的制备周期，提高电容式柔性传感器的制备效率，降低电容式柔性传感器的制备成本。
基本信息
专利标题 ：
一种电容式柔性传感器的制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110260893A
申请号 ：
CN201910526724.2
公开（公告）日 ：
2019-09-20
申请日 ：
2019-06-18
授权号 ：
CN110260893B
授权日 ：
2022-05-10
发明人 ：
张荣光王晗陈新
申请人 ：
广东工业大学
申请人地址 ：
广东省广州市越秀区东风东路729号大院
代理机构 ：
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 ：
田媛媛
优先权 ：
CN201910526724.2
主分类号 ：
G01D5/24
IPC分类号 ：
G01D5/24 D04H1/728
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01D
非专用于特定变量的测量；不包含在其他单独小类中的测量两个或多个变量的装置；计费设备；非专用于特定变量的传输或转换装置；未列入其他类目的测量或测试
G01D5/00
用于传递传感构件的输出的机械装置；将传感构件的输出变换成不同变量的装置，其中传感构件的形式和特性不限制变换装置；非专用于特定变量的变换器
G01D5/12
采用电或磁装置
G01D5/14
影响电流或电压的大小
G01D5/24
通过改变电容
法律状态
2022-05-10 ：
授权
2019-10-22 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01D 5/24
申请日 : 20190618
申请日 : 20190618
2019-09-20 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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