本发明公开了一种柔性微纳电极传感器及其制备方法，传感器包括具有纳米多孔膜的柔性衬底及纳米针电极阵列，所述纳米针电极阵列包括纳米针、预设形状的电极及蛇形电路，所述预设形状的电极连接所述纳米针和所述蛇形电路，所述蛇形电路用于连接外部电路，所述预设形状的电极覆盖在所述柔性衬底的表面，所述纳米针穿透所述柔性衬底的纳米孔。本发明实施例可以实现高通量、长时间地对在体细胞内电信号进行检测，可广泛应用于传感器技术领域。