本发明涉及一种跨尺寸微纳结构阵列的制备方法，包括：S1、提供浸入至电解液中的工件作为第一电极，提供削边线电极作为第二电极并设置在工件上方，提供干涉光束调节器并输出多光束激光干涉照射在工件表面；S2、第一电极和第二电极之间供电构成回路，驱动削边线电极相对工件往复运动，工件在削边线电极相应位置处发生电化学溶解或电化学沉积，并形成微纳结构阵列，无需掩模，且解决了现有超短脉冲电源输出功率小的问题，提高了微纳结构阵列的加工精度，无需电解液进行高速流动，提高系统安全性及降低成本，实现金属材料各向异性电化学溶解或电化学沉积，可有效提高沉积层的致密性及结合强度，从而提高具有大深宽比的微纳结构的刚性。