一种金属氧化物微纳结构、其制备方法和应用

授权

摘要

本发明属于微纳材料合成及器件制备技术领域，更具体地，涉及一种金属氧化物微纳结构、其制备方法和应用。本发明通过将金属氧化物前驱体溶胶凝胶与醇类有机改性剂混合后涂覆于衬底表面，采用飞秒激光对前驱体溶胶凝胶薄膜进行直写，利用飞秒激光光焦点处产生的热量使金属氧化物前驱体发生反应生成金属氧化物，同时在衬底表面形成金属氧化物微纳结构；由于在溶胶凝胶中添加有醇类有机改性剂，该有机改性剂经实验证明能够显著改善得到的金属氧化物微纳结构形貌，使得纳米颗粒连续均匀，优选实施例中制备得到的紫外微纳光电探测器开关比相较于未添加醇类有机改性剂时的开关比提高了64倍。

基本信息

专利标题：

一种金属氧化物微纳结构、其制备方法和应用

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN112271238A

申请号：

CN202011309049.7

公开（公告）日：

2021-01-26

申请日：

2020-11-20

授权号：

CN112271238B

授权日：

2022-05-13

发明人：

熊伟王莹琛徐一诺喻克望龙婧焦玢璋刘耘呈范旭浩高辉邓磊敏

申请人：

华中科技大学

申请人地址：

湖北省武汉市珞喻路1037号

代理机构：

武汉华之喻知识产权代理有限公司

代理人：

彭翠

优先权：

CN202011309049.7

主分类号：

H01L31/18

IPC分类号：

H01L31/18 H01L31/032 H01L31/08