微纳传感装置

授权

摘要

本申请提供一种微纳传感装置，用于在线检测水体的pH值，包括：阳极键合封装形成的玻璃基片与硅基片，所述玻璃基片上设有参比电极；所述硅基片上开设有储液池以及与所述储液池相通的微纳米孔用以稳定所述参比电极；所述硅基片上还装设有铂对电极与氢离子敏感场效应晶体管，所述铂对电极与所述氢离子敏感场效应晶体管构成pH值测量回路，通过所述氢离子敏感场效应晶体管检测输出电压，并根据所述输出电压与所述参比电极的差值确定所述水体的pH值。通过本申请，能够提高pH值在线测量的效率。

基本信息

专利标题：

微纳传感装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021970966.5

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-09-10

授权号：

CN212341087U

授权日：

2021-01-12

发明人：

金庆辉谢书鸿赵建龙施伟嘉王思远张锋杜宗印

申请人：

江苏中天科技股份有限公司;中国科学院上海微系统与信息技术研究所

申请人地址：

江苏省南通市如东县河口镇中天路1号

代理机构：

深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司

代理人：

何春兰

优先权：

CN202021970966.5

主分类号：

G01N27/30

IPC分类号：

G01N27/30