本发明公开了微流量传感器及其制备方法，属于传感器技术领域，包括第一基底和第二基底；在第一基底内设置第一空腔，在第二基底内设置第二空腔和第三空腔；第二空腔通过第一空腔与第三空腔连通形成微流道，用于流体的流入和流出，简化了传统的传感器结构。通过第一基底和第二基底键合为一体式结构，在一体式结构中设置封闭式微流道，实现结构一体化。本发明的微流量传感器的制备方法，将第一基底和第二基底键合，实现微流道和传感器芯片的一次成型，形成一体式结构；微流道密封通过晶圆级封装实现，工艺简单；通过微纳加工技术融合技术，解决了传统流道和封装复杂性和一致性问题。