气体流量传感器芯片以及气体流量传感器

授权

摘要

本实用新型提供一种气体流量传感器芯片，其包括基体以及感应膜片，所述基体设有通孔，感应膜片置于通孔处。感应膜片包括基片、置于基片上的加热器、置于加热器一侧的第一热电偶以及置于加热器另一侧的第二热电偶，加热器设有第一中心轴。第一热电偶和第二热电偶以第一中心轴为中心对称设置。基片为压电材料制成。本实用新型提供的气体流量传感器通过将基片设为压电材料制成，可以起到对传感器的清洁的效果。

基本信息

专利标题：

气体流量传感器芯片以及气体流量传感器

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020646368.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-04-24

授权号：

CN212409799U

授权日：

2021-01-26

发明人：

徐斌牛东刘治孙运峰

申请人：

纬湃汽车电子（长春）有限公司

申请人地址：

吉林省长春市经济技术开发区武汉路1981号

代理机构：

上海华诚知识产权代理有限公司

代理人：

汤国华

优先权：

CN202020646368.6

主分类号：

G01F15/00

IPC分类号：

G01F15/00 G01F15/12