平膜式气体流量传感器。它涉及流量传感器领域，它解决了现有气体流量传感器结构尺寸较大、功耗较高，且不易于批量生产，成本较高的缺点，它的单晶硅片的上下表面分别生成绝缘层，在上部绝缘层上依次生成过渡层和敏感金属层，并刻蚀为加热电阻、测温热敏电阻和控制电阻并相互平行；电极透过覆盖在单晶硅片上表面的钝化保护层连接敏感金属层，单晶硅片的底部开有一个平行于电阻刻蚀方向截面为杯形的沉槽，所述截面为杯形的沉槽的上底面为上部绝缘层的下底面，单晶硅片的底部还开有一个垂直于电阻刻蚀方向的矩形导流槽，截面为杯形的沉槽通过矩形导流槽与外界连通。它提高了传感器的稳定性和可靠性，具有响应速度快和灵敏度高、功耗低的特点。