热式流量传感器及气体流量检测方法
公开
摘要
本申请公开了一种热式流量传感器及气体流量检测方法，所述热式流量传感器包括：测流单元，形成在基底的表面，所述测流单元包括依次分立布置的上游热敏元件、加热电阻和下游热敏元件；补偿单元，形成在所述基底的表面，所述补偿单元包括位于所述测流单元上游的上游环境电阻及和位于所述测流单元下游的下游环境电阻；所述加热电阻用于通电加热所述上游热敏元件和所述下游热敏元件；所述加热电阻还用于通电发热，以通过流动气体加热所述上游环境电阻和所述下游环境电阻中的一个。本申请的热式流量传感器可以克服现有热式流量传感器无法对反向气流进行温度补偿的缺陷，同时，可以进行自检测判断，验证传感器的可靠性。
基本信息
专利标题 ：
热式流量传感器及气体流量检测方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114577288A
申请号 ：
CN202210203610.6
公开（公告）日 ：
2022-06-03
申请日 ：
2022-03-02
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
杨绍松刘同庆曹锦云柳雪
申请人 ：
无锡芯感智半导体有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市滨湖区建筑西路777号国家集成电路设计中心A10幢辅楼3层
代理机构 ：
北京中知法苑知识产权代理有限公司
代理人 ：
李明
优先权 ：
CN202210203610.6
主分类号 ：
G01F1/69
IPC分类号 ：
G01F1/69
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01F
容积、流量、质量流量或液位的测量；按容积进行测量
G01F1/00
测量连续通过仪表的流体或流动固体材料的流量或质量流量
G01F1/68
应用热效应
G01F1/684
结构配置；元件安装，例如与液流有关的
G01F1/688
利用特殊类型的加热、冷却或传感元件
G01F1/69
电阻型的
法律状态
2022-06-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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