本发明公开了一种低拉伸永久变形的导电硅橡胶及其制备方法，组成成分为甲基乙烯基硅橡胶生胶、甲基硅橡胶生胶、白炭黑、乙炔炭黑、硅烷偶联剂、羟基硅油、甲基硅油、含氢硅油、硫化剂、硬脂酸锌；制备步骤包括：将原料放入捏合机中制得混炼基胶；待混炼基胶冷却后加入乙炔炭黑、甲基硅油、甲基硅橡胶生胶，升温、搅拌后出胶料；将胶料静置冷却后，在双辊上加入硫化剂；将含硫化剂的导电硅橡胶模压成型并进行二次硫化得产品。本发明的导电硅橡胶具有良好的加工性能和导电性能，不粘模，在电阻率≤30Ω·cm的优良电性能情况下，仍然能够保持较低拉伸永久变形；同时本发明制备工艺简单，好开模，易于实现工业化生产。