一种自动精确定位制备固态纳米孔阵列的系统及方法
授权
摘要
本发明公开了一种自动精确定位制备固态纳米孔阵列的系统及方法，所述自动精确定位制备固态纳米孔阵列的系统的整个过程采用自动化系统控制，实现固态纳米孔的自动化制备，固态纳米孔阵列制备，进而实现固态纳米孔相关检测应用。纳米孔的扩孔程序采用PID等控制算法控制扩孔电压和扩孔时间的变化，提高了打孔效率和孔径精度；整个纳米孔制备过程采用原位在线的方式，与后期纳米孔测试无缝链接。
基本信息
专利标题 ：
一种自动精确定位制备固态纳米孔阵列的系统及方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110436406A
申请号 ：
CN201910670241.X
公开（公告）日 ：
2019-11-12
申请日 ：
2019-07-24
授权号 ：
CN110436406B
授权日 ：
2022-05-10
发明人 ：
方绍熙王德强殷博华何石轩谢婉谊周大明王赟姣唐鹏石彪梁丽媛王亮周硕
申请人 ：
中国科学院重庆绿色智能技术研究院
申请人地址 ：
重庆市北碚区方正大道266号
代理机构 ：
北京申翔知识产权代理有限公司
代理人 ：
赵景焕
优先权 ：
CN201910670241.X
主分类号 ：
B81C1/00
IPC分类号 ：
B81C1/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B81
微观结构技术
B81C
专门适用于制造或处理微观结构的装置或系统的方法或设备
B81C1/00
在基片内或其上制造或处理的装置或系统
法律状态
2022-05-10 ：
授权
2019-12-06 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B81C 1/00
申请日 : 20190724
申请日 : 20190724
2019-11-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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