非接触式位移传感器
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摘要
一种非接触式位移传感器，包括：聚焦定时计算器，其计算测量光聚焦在可测量物体表面上的测量侧聚焦定时、参考光聚焦在第一参考表面上的第一参考侧聚焦定时以及参考光聚焦在第二参考表面上的第二参考侧聚焦定时；特性计算器，其基于第一参考侧聚焦定时、第二参考侧聚焦定时和光路长度差来计算液体透镜装置的折射率特性；以及位置计算器，其基于折射率特性和测量侧聚焦定时相对于驱动信号周期的相位来计算可测量物体的位置。
基本信息
专利标题 ：
非接触式位移传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110823091A
申请号 ：
CN201910706108.5
公开（公告）日 ：
2020-02-21
申请日 ：
2019-08-01
授权号 ：
CN110823091B
授权日 ：
2022-06-14
发明人 ：
久保光司
申请人 ：
株式会社三丰
申请人地址 ：
日本神奈川县
代理机构 ：
北京市柳沈律师事务所
代理人 ：
邸万奎
优先权 ：
CN201910706108.5
主分类号 ：
G01B11/00
IPC分类号 ：
G01B11/00 G01B11/02
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
法律状态
2022-06-14 ：
授权
2021-06-01 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 11/00
申请日 : 20190801
申请日 : 20190801
2020-02-21 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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