一种用于稀薄大气空间的次声波传感器及声探测载荷舱
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摘要

本发明涉及差压型硅微压阻传感技术领域,具体涉及一种用于稀薄大气空间的次声波传感器,包括:恒温壳体及设置在壳体内的总通气管、第一通气管、第二通气管、次声波差压检测器、若干谐振腔和通气管路控制模块;所述次声波差压检测器包括:空腔体、第一平衡腔通气管、MEMS敏感膜和第二平衡腔通气管;空腔体内设置MEMS敏感膜,将空腔体分为第一平衡腔和第二平衡腔,用于根据感知的第一平衡腔和第二平衡腔的压力值,检测第一平衡腔与第二平衡腔之间的压力差,并将该压力差转换为电信号向外输出;第一平衡腔上设有第一通气管,其与第一声容腔连通;第二平衡腔上设有第二通气管,其通过总通气管与外界大气压连通;若干谐振腔之间通过若干电控阀进行级联。

基本信息
专利标题 :
一种用于稀薄大气空间的次声波传感器及声探测载荷舱
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN110579269A
申请号 :
CN201910747974.9
公开(公告)日 :
2019-12-17
申请日 :
2019-08-14
授权号 :
CN110579269B
授权日 :
2022-05-31
发明人 :
郭泉
申请人 :
中国地震局地壳应力研究所
申请人地址 :
北京市海淀区安宁庄路1号
代理机构 :
北京方安思达知识产权代理有限公司
代理人 :
陈琳琳
优先权 :
CN201910747974.9
主分类号 :
G01H11/06
IPC分类号 :
G01H11/06  G01V1/20  G01V1/18  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01H
机械振动或超声波、声波或次声波的测量
G01H11/00
通过检测电或磁特性的变化测量机械振动或超声波、声波或次声波
G01H11/06
用电的方法
法律状态
2022-05-31 :
授权
2020-01-10 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01H 11/06
申请日 : 20190814
2019-12-17 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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