一种基于电化学刻蚀制备金属探针的方法及装置
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摘要

本发明公开了一种基于电化学刻蚀制备金属探针的方法及装置,所述基于电化学刻蚀制备金属探针的方法包括以下步骤:(1)取金属丝置于分层液体中,分层液体包括上层的腐蚀液和下层的惰性液体,金属丝的第一端伸入到惰性液体中,第二端连接电源的一极;取电极连接电源的另一极,与分层液体、金属丝连接形成通路进行电化学刻蚀,收集粗金属探针;(2)取环状电极,环状电极上覆有腐蚀液形成的液膜,将粗金属探针的针尖竖直穿过液膜并与液态金属材料接触,所述液体金属材料包括液态金属或液态金属合金,进行电化学刻蚀。本发明的方法通过控制条件能够得到不同规格的金属探针,具有较好的适用性和应用前景。

基本信息
专利标题 :
一种基于电化学刻蚀制备金属探针的方法及装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN110568226A
申请号 :
CN201910759648.X
公开(公告)日 :
2019-12-13
申请日 :
2019-08-16
授权号 :
CN110568226B
授权日 :
2022-05-03
发明人 :
邓辉覃山力
申请人 :
南方科技大学
申请人地址 :
广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号
代理机构 :
广州嘉权专利商标事务所有限公司
代理人 :
刘方
优先权 :
CN201910759648.X
主分类号 :
G01Q70/16
IPC分类号 :
G01Q70/16  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01Q
扫描探针技术或设备;扫描探针技术的应用,例如,扫描探针显微术
G01Q70/00
SPM探针的一般方面,其制造或有关的使用仪器,它们不专门适用于包括在大组G01Q60/00中的单独的SPM技术
G01Q70/16
探针制造
法律状态
2022-05-03 :
授权
2020-01-07 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01Q 70/16
申请日 : 20190816
2019-12-13 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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