本发明涉及半导体技术领域，提供了一种用于提高生产中工艺稳定性的方法。在共源极阵列中完成了多晶硅沉积过程后，方法包括：检测晶圆的翘曲值，根据所述翘曲值确定多晶硅退火策略；或者，确定当前晶圆的加工工艺类型，根据所述加工工艺类型获取对应的多晶硅退火策略；其中，所述多晶硅退火策略，包括固化多晶硅的退火方式和/或调整多晶硅应力的退火方式；对当前加工的晶圆执行获取到的多晶硅退火策略。本发明结合了多晶硅的退火特性，并且，为此设计了一套完善的退火策略，充分发挥其在晶圆加工过程中对翘曲情况改善的能力。尤其是在应对马鞍形翘曲，能够取得有效的改善效果。