基于二维材料的多层金属纳米结构的制备方法
授权
摘要
本发明公开了基于二维材料的多层金属纳米结构的制备方法，属于新型纳米结构加工领域。其制备过程主要分为三步：第一步:将超薄AAO模板转移到亲水处理后的衬底上。第二步:利用溅射的方法将金属均匀沉积到AAO模板孔洞中。第三步:用胶带粘掉衬底上的AAO模板并在上面转移一层h‑BN，在h‑BN上再次转移一层超薄AAO模板。第四步:将衬底放入溅射设备中再次沉积一层金属，并去除掉AAO模板，重复第三、四步工艺进行下一层纳米颗粒沉积。本发明工艺简单、成本较低；工艺重复性强，工艺参数好控制。可以大面积制备具有周期性的多层金属纳米结构阵列。
基本信息
专利标题 ：
基于二维材料的多层金属纳米结构的制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110616408A
申请号 ：
CN201910879303.8
公开（公告）日 ：
2019-12-27
申请日 ：
2019-09-18
授权号 ：
CN110616408B
授权日 ：
2022-05-17
发明人 ：
解意洋胡良臣王秋华庞伟董毅博徐晨
申请人 ：
北京工业大学
申请人地址 ：
北京市朝阳区平乐园100号
代理机构 ：
北京思海天达知识产权代理有限公司
代理人 ：
沈波
优先权 ：
CN201910879303.8
主分类号 ：
C23C14/35
IPC分类号 ：
C23C14/35 C23C14/30 C23C14/16 C23C14/04 C23C14/58 B82Y40/00
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的，例如磁控溅射
法律状态
2022-05-17 ：
授权
2020-01-21 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/35
申请日 : 20190918
申请日 : 20190918
2019-12-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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