本发明属于齿轮制造技术领域，具体涉及一种减摩耐磨齿轮零件的制备工艺，通过物理气相沉积技术进行表面渗碳及涂层处理以制备减摩耐磨高压液压泵的方法，将碳化物涂层、PVD方法与渗碳技术相结合，在碳化物涂层与工件基体间通过离子溅射的方法制备一个渗碳扩散层，即对工件表面先通过离子溅射的方法进行表面渗碳处理，然后再采用离子镀和磁控溅射复合方法沉积成分梯度变化的VCrWSiC/Cr碳化物涂层，以减缓涂层与基体材料的物理性能差异，提高基体材料的硬度，增强涂层与基体的附着性能，从而改善齿轮零件减摩耐磨等综合性能，有效提高表面处理效率和工件的使用寿命。