本公开提供了一种微流控芯片及其制造方法、微流控器件，涉及微流控技术领域。微流控芯片包括第一基板结构，包括多个管脚区、检测区和接地走线。多个管脚区包括第一和第二管脚区。检测区包括：多条第一扫描线，沿第一方向延伸，每条第一扫描线通过对应的第一扫描走线与第一管脚区连接；多条第一数据线，沿与第一方向不同的第二方向延伸，每条第一数据线通过对应的第一数据走线与第二管脚区连接；多个检测单元，每个检测单元包括第一开关晶体管、与第一开关晶体管连接的驱动电极和位于驱动电极上方的第一疏水层，第一开关晶体管与对应的一条第一扫描线和对应的一条第一数据线连接。接地走线与至少一个检测单元连接并与多个管脚区中的一个连接。