光栅波导多微流道芯片的制造方法
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摘要
本发明提供一种光栅波导多微流道芯片的制造方法，包括提供衬底，在所述衬底上形成下包层；在所述下包层上形成波导层；以所述波导层形成光栅波导；所述光栅波导包括出射光栅；形成第一数量的微流道，形成微流体组；所述微流道贯穿所述上包层以暴露出所述保护层；所述出射光栅位于所述微流道下方用以将光沿垂直方向向上导入所述微流道内。具有有益效果：具有有益效果：形成光波导与多微流道一体化矩阵的结构，通过多微流体通道和大规模矩阵化的光波导来实现比传统光学系统更高通量的分析性能，快速构建高通量生物样品的芯片级的片上光学检测分析系统，实现微纳尺度下的生物检测的高通量芯片。
基本信息
专利标题 ：
光栅波导多微流道芯片的制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111151317A
申请号 ：
CN202010053511.5
公开（公告）日 ：
2020-05-15
申请日 ：
2020-01-17
授权号 ：
CN111151317B
授权日 ：
2022-05-03
发明人 ：
陈昌刘博豆传国
申请人 ：
上海新微技术研发中心有限公司
申请人地址 ：
上海市嘉定区城北路235号1号楼
代理机构 ：
苏州国卓知识产权代理有限公司
代理人 ：
黄少波
优先权 ：
CN202010053511.5
主分类号 ：
B01L3/00
IPC分类号 ：
B01L3/00 G01N21/63
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01L
通用化学或物理实验室设备
B01L3/00
实验室用的容器或器皿，如实验室玻璃仪器；点滴器
法律状态
2022-05-03 ：
授权
2020-06-09 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B01L 3/00
申请日 : 20200117
申请日 : 20200117
2020-05-15 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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