高温全息光栅及其制造方法
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
高温全息光栅，它是将可动光源制作全息光栅技术与真空镀膜技术结合研制出来的，是一种具有高灵敏度的位移测量基本元件。它是采用双镀层光刻法制作，由两抗氧化能力强的金属镀层构成。两镀层的金属材料相同时如Cr-Cr，则构成位相型高温全息光栅，若两镀层金属材料不同，如Au-Cr则构成振幅型高温全息光栅。本发明的高温全息光栅，频率高，f≤2400L/mm，工作温度范围由常温到950℃均可，抗氧化力强，为光学测量方法在高温领域中的应用奠定了基础。摘要附图引用说明书附图2。
基本信息
专利标题 ：
高温全息光栅及其制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1088312A
申请号 ：
CN93106837.1
公开（公告）日 ：
1994-06-22
申请日 ：
1993-06-10
授权号 ：
CN1035135C
授权日 ：
1997-06-11
发明人 ：
谢惠民戴福隆
申请人 ：
清华大学
申请人地址 ：
100084北京市海淀区清华园
代理机构 ：
清华大学专利事务所
代理人 ：
张秀珍
优先权 ：
CN93106837.1
主分类号 ：
G02B5/18
IPC分类号 ：
G02B5/18 G02B5/32 G03H1/18
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B5/00
除透镜外的光学元件
G02B5/18
衍射光栅
法律状态
1999-08-04 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
1997-06-11 ：
授权
1994-11-16 ：
实质审查请求的生效
1994-06-22 ：
公开
1994-06-15 ：
实质审查请求的生效
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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