一种EO/PO改性9-苯基吖啶类光敏剂及其应用
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摘要

本发明公开一种EO/PO改性9‑苯基吖啶类光敏剂,具有如通式(I)所示结构。该光敏剂应用于感光性树脂组合物时,组合物具有感光度高、分辨率高、溶解性高、分散稳定性优异、显影性优异的特点,且显影时具有较好的亲水性,能显著减少循环使用时显影液中的淤渣量,使得显影液可重复多次、有效使用。

基本信息
专利标题 :
一种EO/PO改性9-苯基吖啶类光敏剂及其应用
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN112835261A
申请号 :
CN201911162344.1
公开(公告)日 :
2021-05-25
申请日 :
2019-11-25
授权号 :
CN112835261B
授权日 :
2022-06-07
发明人 :
钱晓春戚伟光衡京
申请人 :
常州强力电子新材料股份有限公司;常州强力先端电子材料有限公司
申请人地址 :
江苏省常州市武进区遥观镇钱家工业园
代理机构 :
北京汉德知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
刘子文
优先权 :
CN201911162344.1
主分类号 :
G03F7/031
IPC分类号 :
G03F7/031  C07D219/02  C07D219/04  
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/004
感光材料
G03F7/027
具有碳—碳双键的非高分子的可光聚合的化合物,例如,乙烯化合物
G03F7/028
含有增光敏物质的,例如,感光刺激剂
G03F7/031
G03F7/029组不包括的有机化合物
法律状态
2022-06-07 :
授权
2021-06-11 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G03F 7/031
申请日 : 20191125
2021-05-25 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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